오염 제어
미세한 입자나 미량의 오염 물질조차도 반도체 공정의 안정성과 수율에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 유체 경로, 습식 공정 장비 및 핵심 반도체 장비 부품에는 청결성과 안정적인 화학적 호환성을 보장하는 재료가 필요합니다.
PTFE , PFA 및 기타 불소수지는 안정적인 소재 성능과 낮은 오염 가능성이 중요한 곳에 사용됩니다. 적절한 등급과 제조 방법을 선택하면 부품 기능을 저하시키지 않으면서 공정의 청결도를 유지할 수 있습니다.
습식 가공 재료
습식 가공 시스템은 부품을 산, 알칼리, 용제 및 강력한 세척제에 노출시킬 수 있습니다. PTFE와 PFA는 광범위한 내화학성을 제공하며 이러한 환경에서 부식 관련 오염을 방지하는 데 도움이 됩니다.
화학 물질 이송 장치, 밸브 및 펌프 어셈블리, 공정 탱크 및 유체 접촉 부품에 사용되는 재질 등급은 온도, 형상, 기계적 하중 및 청결도 요구 사항에 따라 지정할 수 있습니다.
반도체 습식 공정에서 PTFE, PFA, PVDF, 폴리프로필렌 및 석영을 자세히 비교하려면 당사의 반도체 습식 공정 재료 선택 가이드를 참조하십시오.
- 유체 튜브
- 밸브 시트
- 씰 및 링
- 가공 부품
고순도 유체 처리
PTFE와 PFA는 안정적인 표면을 통해 반도체 유체의 경로를 제어하고, 오염 가능성을 낮추며, 까다로운 공정 조건에서도 안정적인 성능을 제공합니다.
Golden Collar는 PFA 및 순수 PTFE 튜빙을 공급하고 고순도 화학물질 전달, 초저온수 시스템, 습식 처리 장비 및 화학물질 취급 장치용 불소수지 부품을 제조합니다.
- PFA 튜빙
- 순수 PTFE 튜브
- 가공된 PTFE 부품
- 커스텀 컴포넌트
반도체 산업 분야
정밀 가공된 PTFE 부품, PFA 튜브 및 관련 불소수지 부품은 반도체 제조 시스템 전반에 걸쳐 유체, 공정 및 장비 기능을 지원할 수 있습니다.
유체 처리 시스템
- 고순도 화학물질 전달
- UPW 시스템즈
- 고순도 유체 처리
공정 장비
- 습식 처리 장비
- 웨이퍼 가공 장비
- 화학물질 전달 시스템
장비 구성 요소
- 화학물질 취급 부품
- 전기 절연 부품
- 맞춤형 장비 부품
정밀 PTFE 부품
Golden Collar는 반도체 장비, 습식 처리 시스템, 화학 물질 처리 장치 및 청결도, 내화학성 및 치수 균일성이 중요한 기타 응용 분야에 사용되는 정밀 가공 PTFE 부품을 제조합니다.
고객 도면에 따라 PTFE, PFA 및 관련 불소수지를 사용하여 반도체 장비용 맞춤형 PTFE 부품 및 기타 PTFE 구성 요소를 제조할 수 있으며, 소재는 형상, 작동 조건 및 성능 요구 사항에 따라 선택됩니다.
시제품 및 샘플 제작은 OEM 생산을 반복하기 전에 고객 평가를 지원할 수 있습니다.
- 절연체
- 부싱 및 스페이서
- 씰 및 링
- 밸브 부품
- 유체 처리 부품
- 맞춤형 기하학
PTFE 및 PFA 소재
재질 선택은 접촉 매체, 청결도 목표, 온도, 마모, 절연 성능 및 치수 요구 사항을 기준으로 합니다. Golden Collar는 순수 PTFE, 충전 PTFE, 변성 PTFE는 물론 PFA 및 FEP도 지원합니다.
PTFE 소재 살펴보기버진 PTFE
유체 접촉, 밀봉 및 전기 절연 가공 부품에 다용도로 사용할 수 있는 제품입니다.
PFA
튜브 및 복잡한 유체 처리 형상에 사용되는 용융 가공 가능한 불소수지.
FEP
튜브, 필름 및 전기 절연 용도에 적합한 유연한 불소수지 소재입니다.
충전/변형 PTFE
내마모성, 크리프 성능 또는 치수 안정성을 개선해야 하는 경우에 선택됩니다.
가공 및 제조
골든 칼라는 생산 전에 고객 도면, 치수, 샘플, 적용 조건 및 재료 요구 사항을 검토합니다. 부품의 형상, 공차 및 기능적 요구 사항에 맞춰 맞춤형 가공 및 성형 공정을 선택합니다.
검사 계획은 반도체 장비 제조업체의 시제품 및 샘플 생산부터 반복 생산에 이르기까지 치수 일관성을 지원합니다.
- 그림 검토
- 재료 선택
- 맞춤형 CNC 가공
- 맞춤형 몰딩
- 시제품/샘플 지원
- 반복 생산
품질 검사
반도체 장비 부품의 품질 계획은 고객 도면, 재료 사양, 치수 요구 사항 및 관련 문서에 맞춰 수립될 수 있습니다. 입고 검사, 공정 관리 및 최종 검사를 통해 승인된 샘플부터 반복 생산에 이르기까지 일관성을 유지할 수 있습니다.
- 재료 검사
- 공정 중 및 최종 치수 검사
- 통제된 생산 환경
- 해당되는 경우 추적성 확보
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